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激光干涉仪测量运动轴的挠刚度和扭刚度
激光干涉仪测量运动轴的挠刚度和扭刚度
由德国耶拿尔公司生产的ZLM800
双频激光干涉仪
,可以测量运动轴的挠刚度和扭刚度,应用示意图如下。如用户有这方面的需求,欢迎与我们联系,热线021-50265166.
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光刻机定位用双频激光干涉仪ZLM800
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