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技术文章
激光外差干涉仪
激光外差干涉仪
长度和位移是最常用的物理量,与干涉仪的条纹变化和光程差相对应,因此测量长度和位移是干涉仪的最基础功能。
干涉测量的误差很少一部分来自干涉仪本身,绝大部分来自环境,如空气的温度、压力、湿度不同则折射率就不同,激光的波长依空气折射率而变化。因此对干涉仪来说,折射率测量的重要性并不亚于激光频率的稳定。
由德国耶拿尔
JENAer
公司生产的
双频激光干涉仪
,是典型的激光外差式干涉仪。它由双频光源
L
、偏振分光镜
PBS
、角隅棱镜
R
和
M
,检偏器
P
,光电检测器
D
等组成。无论何种类型的双频光源,光在进入偏振分光镜前均应转换为振动方向正交的两线偏振光,偏振光被偏振分光镜分开后,进入测量臂和参考臂,由两角隅棱镜反射,在偏振分光镜会合后成为两干涉臂光程形成的相位变化,检偏器
P
的通光轴平分两线偏振光振动方向,通过检偏器以后发生拍频,成为光强信号的交流分量,通过公式就可计算出物体的位移。
欢迎选购本公司代理的德国耶拿尔双频激光干涉仪,它广泛应用于各种数控机床几何量的测量和坐标机的校订,咨询热线:一三伍六四九玖四三九六。
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