微振动检测激光干涉仪

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产品名称: 微振动检测激光干涉仪
产品型号: ZLM900-3D
制造商:德国JENAer测量公司
产品文档:

	德国JENAer双频激光干涉仪样本ZLM900LSI
	JENAer双频激光干涉仪说明书

简单介绍

ZLM900-3D微振动检测激光干涉仪由德国JENAer耶拿尔公司生产，为三轴外差式双频激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量，主要用于运动平台等微位移的测量和检测，角度变化量的监测等。

微振动检测激光干涉仪

的详细介绍

微振动检测激光干涉仪 ZLM900-3D


激光干涉仪ZLM 900-3D	PXI数据处理器激光干涉仪ZLM900-3D	光学镜头ZLM 900-3D

世界范围内，同类产品中效率最高的干涉仪。

三轴外差式微振动检测激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量

高灵活性调整模块，适用于所有数控机床的参数的测量

动态测量最大速度4m/s，实时显示三个轴的测量数据

小型反射镜，带有磁性固定装置

适用于笔记本电脑、PCI和PXI中线，与网络兼容

位移测量标准分辨率为1nm，角度测量分辨率为0.01"

使用高精度温度传感器，系统精度可达50nm/m

可拓展为6轴测量

外部触发最大频率为40MHz快速调整也适用于3D

所有3轴实时数据测量，无延时

最多可扩展到6轴

小型反射镜

外部最大触发频率40MHz

上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统，光束由激光头发出后进入干涉镜，3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分：

信号光束1用于位移的测量，信号光束2用于俯仰角的测量，信号光束三用于偏摆角的测量。

所有的光束照射到被测物体（3-轴反射镜固定在被测物体上）后再次反射到干涉镜上，每个信号光束与反射的光束进行干涉，然后干涉光束传输到激光头里，进行信号分析后进入到软件里。


三轴测量软件（位移、偏摆和俯仰角）	三角关系的设定

测量结果的统计	在位置5开始测量

位移和角度的完全测量	ISO230数据统计标准

由本公司代理，德国耶拿尔JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪，是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等，还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。更多信息欢迎来电垂询！

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